德國(guó)kleindiek超微力測(cè)量系統(tǒng)是高精度微力測(cè)量測(cè)試系統(tǒng)，它與顯微操作器聯(lián)合使用,用于測(cè)量納米壓痕和超微力測(cè)量,還可用于測(cè)量細(xì)胞力學(xué),楊氏模量,微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的彈簧常數(shù)和共振頻率的彈性參數(shù)。

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